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脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响

魏永强 , 张艳霞 , 文振华 , 蒋志强 , 冯宪章

表面技术

目的 研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律.方法 利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律.结果 TiN/TiAlN多层薄膜表面出现了电弧离子镀制...

关键词: TiN/TiAlN , 电弧离子镀 , 纳米硬度 , 微观结构 , 脉冲偏压占空比