陈青云
,
施凯敏
,
苏敏华
,
吕会议
,
罗瑜
,
曾陈
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2015.000229
类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能,在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景,近年来吸引了众多研究和关注.文章综述了类金刚石膜的研究进展和膜的成核机理,展示了类金刚石的应用前景,为该材料的研究和工业化应用提供思路和参考.
关键词:
类金刚石膜
,
成膜机理
,
结合力
,
摩擦性能
