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基于后焦面成像的聚合物平面波导光学参数测量仪

施矾 , 朱良富 , 邱冬 , 张斗国

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.017

基于后焦面成像确定波导传播特性的基本原理,结合平面波导中的菲涅尔反射理论,设计了一种聚合物平面波导光学参数测量仪.通过MATLAB拟合处理数据实现了对样品局部折射率和厚度高精度、高空间分辨率的实时测量,平面波导厚度测量精度可以达到纳米量级,空间分辨率可达到300 nm.该测量仪结构简单、易于操作,在...

关键词: 波导光学 , 后焦面成像 , 光学参数测量仪