施矾
,
朱良富
,
邱冬
,
张斗国
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.017
基于后焦面成像确定波导传播特性的基本原理,结合平面波导中的菲涅尔反射理论,设计了一种聚合物平面波导光学参数测量仪.通过MATLAB拟合处理数据实现了对样品局部折射率和厚度高精度、高空间分辨率的实时测量,平面波导厚度测量精度可以达到纳米量级,空间分辨率可达到300 nm.该测量仪结构简单、易于操作,在光学传感和细胞内生物传感领域具有很高的应用价值.
关键词:
波导光学
,
后焦面成像
,
光学参数测量仪
