胡增顺
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晋玉星
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杨桦
合成材料老化与应用
利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si (100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Mg (不同浓度)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3．15Nd0．85Ti(3-x)Mg2xO12(BNTM)(x=0．00,0．06,0．10和0．14),并进行了这一系列薄膜的包括微结构、介电、铁电和漏电流等特性的研究和对比。发现当Mg含量为x=0．10时,薄膜具有较高的剩余极化强度(2Pr=33．40μC/cm2)和介电常数(ε=538,频率为1kHz),其漏电流密度为10-8A/cm2。讨论了相关的物理机制。
关键词:
铁电薄膜
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共掺杂
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BNTM
,
化学溶液沉积法
胡增顺
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杨桦
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晋玉星
材料导报
利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/( Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Sc0.06O12 (BNTSc)、Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85 Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O12(BNT(Sc,Al)),并研究和对比了这一系列薄膜的微结构、介电、铁电和漏电流等特性.结果发现BNT( Sc,Al)薄膜具有较高的剩余极化强度和介电常数,其漏电流密度低于BNTAl薄膜.另外,还讨论了相关的物理机制.
关键词:
铁电薄膜
,
共掺杂
,
BNT(Sc,AJ)薄膜
,
化学溶液沉积法
