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不同化学蚀刻法对石英基片激光损伤阈值的影响

赵松楠 , 吕海兵 , 晏良宏 , 袁晓东 , 郑万国

材料导报

为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阈值.

关键词: 激光损伤阈值 , 湿化学蚀刻 , 石英基片 , 表面形貌

疏水疏油二氧化硅增透膜的制备

晏良宏 , 匙芳廷 , 蒋晓东 , 吕海兵 , 袁晓东 , 江波

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01247

以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶法,结合全氟辛基癸烷三甲氧基硅烷(FAS)自组装对膜层表面改性,制备了疏水疏油二氧化硅增透膜. 采用红外光谱仪, 分光光度计, 扫描探针显微镜, 椭偏仪, 静滴接触角测量仪, 抗油污染能力测试等技术对膜层性质进行了分析. 结果表明: 疏水疏油增透膜的峰值透光率为99.8%; 与水的接触角为118.0°, 与二甲基硅油的接触角达到74.5°; 在抗油污染能力测试中, 疏水疏油增透膜的抗油污染能力较常规增透膜大大增强.

关键词: 溶胶-凝胶 , silica , antireflective coating , hydro-oleophobicity

疏水疏油二氧化硅增透膜的制备

晏良宏 , 匙芳廷 , 蒋晓东 , 吕海兵 , 袁晓东 , 江波

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.047

以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶法,结合全氟辛基癸烷三甲氧基硅烷(FAS)自组装对膜层表面改性,制备了疏水疏油二氧化硅增透膜.采用红外光谱仪,分光光度计,扫描探针显微镜,椭偏仪,静滴接触角测量仪,抗油污染能力测试等技术对膜层性质进行了分析.结果表明:疏水疏油增透膜的峰值透光率为99.8%;与水的接触角为118.0°,与二甲基硅油的接触角达到74.5°;在抗油污染能力测试中,疏水疏油增透膜的抗油污染能力较常规增透膜大大增强.

关键词: 溶胶-凝胶 , 二氧化硅 , 增透膜 , 疏水疏油性

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