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湿法腐蚀制备蓝宝石图形衬底的研究

邵慧慧 , 李树强 , 曲爽 , 李毓锋 , 王成新 , 徐现刚

人工晶体学报

利用湿法腐蚀方法,制备出图形化蓝宝石衬底(PSS).在相同的腐蚀时间下,研究腐蚀液温度对腐蚀蓝宝石表面形貌和外延后GaN材料的影响.扫描电镜(SEM)测试结果表明:随着腐蚀液温度的增加,图形的深度增加.腐蚀后图形阵列排布整齐,所有图形都方向一致,这与蓝宝石本身晶体性质有关.腐蚀液温度对外延后GaN的...

关键词: 湿法腐蚀 , 蓝宝石图形衬底 , GaN , 外延层