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LiNbO3声表面波特性及其应用

曹亮亮 , 叶志镇 , 王新昌

材料导报

LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量和声表面波性能进行了比较,并简要介绍了LiNbO3在声表面波领域应用的新进展.

关键词: LiNbO3 , 薄膜 , 声表面波 , 压电性能