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CVD金刚石薄膜摩擦学性能的研究现状

孙洪涛 , 王小平 , 王丽军 , 孙义清 , 王金烨 , 王子风 , 曹双迎

材料导报

化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于光滑金刚石明显偏高,这制约着其在摩擦学领域的应用.在综合分析近年来该领域研究的基础上,总结了CVD金刚石薄膜摩擦学性能的主要影响因素,并从降低其摩擦系数的角度出发,着重讨...

关键词: 金刚石薄膜 , 摩擦学性能 , 纳米金刚石薄膜 , 掺杂类金刚石薄膜