曹培江
,
解振宇
,
韩舜
,
柳文军
,
贾芳
,
曾玉祥
,
朱德亮
,
吕有明
材料导报
采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响.研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO生长速率的不同导致ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变...
关键词:
ZnO纳米棒阵列
,
化学气相沉积
,
发光性能
邵玉坤
,
韩舜
,
吕有明
,
曹培江
,
柳文军
,
曾玉祥
,
贾芳
,
朱德亮
,
马晓翠
人工晶体学报
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响.结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向；在沉积压强8.0Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取...
关键词:
ZnO
,
MgZnO
,
脉冲激光沉积
,
氧气流量
曹培江
,
赖国霞
,
柳文军
,
贾芳
,
朱德亮
,
马晓翠
,
吕有明
材料导报
使用脉冲激光沉积( PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力.结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的...
关键词:
ZnO薄膜
,
脉冲激光沉积
,
附着力
王志
,
巴德纯
,
蔺增
,
曹培江
,
刘飞
,
梁吉
新型炭材料
doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2005.04.011
采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,CH4 、B2H6和H2为气源,在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管.研究了不同B2H6/CH4气体配比对碳纳米管生长特性的影响.使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子谱(XPS...
关键词:
碳纳米管
,
硼掺杂
,
等离子体化学气相沉积技术
,
气体配比
贾芳
,
曹培江
,
曾玉祥
材料导报
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在氧气气氛中以高纯Zn为(99.999%)靶材,在单晶硅和石英衬底表面成功生长了ZnO薄膜.通过X射线衍射仪、表明轮廓仪、荧光光谱仪、紫外可见分光光度计对合成薄膜材料的晶体结构、厚度、光学性质等进行了研究,分析了ZnO薄膜的沉积时间对其性能的影响.结果表明,采用PLD法...
关键词:
脉冲激光沉积
,
ZnO薄膜
,
沉积时间
