元美玲
,
曾宇昕
,
徐飞
,
王水凤
,
程国安
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.016
测量了用离子注入方法将La、O+双注入硅基样品在室温下的光致发光(PL)谱,实验结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随退火温度和注入顺序的不同而变化.用原子力显微镜观察了不同条件下制备的样品的表面形貌,并对样品的发光机理作了初步探讨.
关键词:
离子双注入
,
硅基薄膜发光
,
光致蓝紫发光
,
表面形貌
王水凤
,
曾宇昕
,
元美玲
,
徐飞
,
程国安
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.015
测量了La、Nd稀土离子注入Si基晶片,在不同退火条件下的室温光致发光(PL)谱,结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随掺杂浓度的增加而增大、随退火条件的不同而改变.并对样品的发光机理作了初步探讨.
关键词:
稀土掺杂
,
离子注入
,
硅基氧化膜发光
,
卢瑟福背散射(RBS)
,
光致蓝紫发光
