明平美
,
朱荻
,
曾永彬
,
朱健
,
贾世星
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2006.03.005
增强工具电极材料的耐电蚀能力,降低电极损耗是微细电火花加工技术可靠、稳定且高效制造高深宽比微结构和器件的研究关键之一.选用纳米量级稀土氧化物-氧化镧为电铸基液添加剂制备了微工具铜电极材料,探讨了它的作用机理,分析了电铸铸层的微观形貌,并实验研究了纳米氧化镧添加剂对电铸电极材料抗电蚀性能的影响,优选了电沉积工艺参数.结果表明:添加适量纳米氧化镧添加剂并在适当电沉积条件下,电铸铜电极材料表现出较强的抗电蚀能力,且综合机械性能优异.
关键词:
电铸
,
抗电蚀性
,
纳米氧化镧
,
稀土
张文峰
,
朱荻
,
曾永彬
功能材料
在复合电沉积工艺中,通过优选工艺参数可以获得纳米颗粒复合量较高的复合沉积层,以使其具有某些特殊的性能.本文运用正交试验法优化了对复合沉积层中纳米颗粒复合量有较大影响的各工艺参数,然后用BP神经网络分析方法对其结果进行分析处理.预测并得到较正交试验法所得最优工艺水平组合时复合量更高的复合沉积层,同时对所得复合沉积层进行了表面形貌观察和能谱分析.
关键词:
复合电沉积
,
正交试验
,
BP神经网络
,
复合量
