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高压PLD法生长p型钠掺杂氧化锌纳米线阵列

邱智文 , 杨晓朋 , 韩军 , 曾雪松 , 李新化 , 曹丙强

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13284

采用高压脉冲激光沉积法(HP-PLD)研究了压强、金催化层厚度对钠掺杂氧化锌纳米线(ZnO∶Na)生长的影响,并制备了ZnO∶A1薄膜/ZnO∶Na纳米线阵列同质pn结器件.实验发现,当金膜厚度为4.2 nm,生长压强为3.33×104 Pa,生长温度为875℃时,可在单晶Si衬底上生长c轴取向性良...

关键词: 钠掺杂 , 氧化锌纳米线 , 高压脉冲激光沉积(HP-PLD)

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