材料期刊网

(0001)SiC衬底MgB2超薄膜的制备和性质研究

陈雷 , 马世成 , 冯庆荣 , 董兴辉 , 朱凌志

低温物理学报

利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为(HPCVD)在(0001) SiC衬底上制备了干净的MgB2超导超薄膜.在背景气体、压强、载气氢气流量以及B2H6的流量一定的情况下,改变沉积时间,制得一系列MgB2超薄膜样品.通过...

关键词: SiC衬底 , MgB2超薄膜 , 混合物理化学气相沉积