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X 射线双晶衍射在新材料研究中的应用

朱南昌 , 李润身 , 陈京一

材料研究学报

本文介绍了X 射线双晶衍射术的基本原理。描述了双晶衍射技术在半异体材料的离子注入、单层及多层异质结外延膜、应变超晶格等新型材料研究中的应用。给出了双晶衍射对Si 中高能B~+注入和In_xGa_(1-x)As/GaAs 超晶格研究的实例。

关键词: 离子注入 , X-ray double-crystal diffraction , computer simulation