张华
,
朱壮晖
,
吴蕾
,
周洪波
,
孙晓娜
,
周亮
,
李刚
,
金庆辉
,
赵建龙
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.05.009
本研究提供了一种简易、低成本的工艺和方法,进行神经微电极的性能改进,来改善神经电极/神经组织的界面特性.首先采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)作为微电极基质材料制备了一种柔性神经微电极;然后电化学合成导电聚合物聚噻吩PEDOT/LiClO4,进行神经微电极位点的表面修饰;最后测试和评价了神经微电极的表面形貌、电学性能及其生物相容性.结果表明导电聚合物粗糙的菜花状表面形貌提供了更大的界面表面积,因此电极阻抗降低到原来的1/20,微电极的电荷注入能力也增加了约100倍.细胞生物学实验也表明,导电聚合物修饰的柔性微电极上,细胞生长状态良好,与未修饰的柔性微电极下相比,粘附率与存活率均有明显改善,粘附率较修饰前增加了92.5%,存活率也由69.2%提高到85.4%.
关键词:
柔性微电极
,
导电聚合物
,
表面修饰
,
生物相容性
姚源
,
李刚
,
张华
,
周洪波
,
孙晓娜
,
朱壮晖
,
隋晓红
,
赵建龙
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.004
本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法.该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制.最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定.整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本.此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性.
关键词:
微细加工
,
钨丝
,
微电极阵列
,
神经探针
,
双面光刻
周亮
,
朱壮晖
,
张华
,
周洪波
,
孙晓娜
,
李刚
,
赵建龙
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.05.011
为了实现植入式柔性神经微电极与外部记录或刺激装置的有效、可靠连接,本文提出了一种基于通孔电镀的植入式柔性神经微电极互连方法.该方法首先制作具有通孔结构的柔性互连膜,并将其通孔与待连接的植入式微电极焊接位点对准贴合,然后电镀生长导通金属,从而实现与待连接的植入武器件的柔性连接.最后本文通过SEM观察、电学性能测试、机械强度测试以及生物兼容性测试等手段对此互连方法的焊接效果进行了评价.测试结果表明本文提出的柔性微电极互连方法具有很好的可靠性和稳定性.
关键词:
柔性基底
,
神经微电极
,
电镀
,
互连
