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朱安峰 , 毛广秀
涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2007.02.009
利用合成的碱溶性光敏树脂配制成光致抗蚀剂,对固化速率、碱溶性、涂膜表面干燥性、显影和脱膜等进行了研究.结果表明:树脂含量大于70%时,涂膜具有较好的表面干燥性、显影性和脱膜性能;光引发剂含量为5%左右,固化速率较高;50℃超声波下用3% Na2CO3显影2 min,图象清晰度较高.
关键词: 碱溶性 , UV固化材料 , 光致抗蚀剂 , 显影 , 光敏树脂
