储向峰
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汤丽娟
,
董永平
,
乔红斌
,
朱小华
稀有金属材料与工程
(锇有可能作为大规模集成电路铜互连扩散阻挡层新材料.)利用自制的抛光液对金属锇片进行抛光,研究在双氧水-磷酸体系抛光液中H2O2浓度和抛光液pH值对抛光速率的影响.结果表明,当抛光液中主要成分仅为氧化剂H2O2时,并不能在金属锇表面达到好的腐蚀效果.在磷酸体系抛光液中,H2O2能够通过促进阴极反应的...
关键词:
化学机械抛光
,
锇
,
磷酸
,
极化曲线
,
阻挡层材料
陈同云
,
朱小华
,
储向峰
,
葛秀涛
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董永平
,
叶明富
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11780
通过溶剂热法(无水乙醇)制备了Cu2+(0～6mol％)掺杂ZnO纳米棒粉体,采用X射线衍射仪和扫描电镜对掺杂ZnO纳米粉体的晶体结构和微观形貌进行了表征.研究了Cu2+掺杂比例、溶剂热反应温度及时间对材料气敏性能的影响;考察ZnO(120℃,10 h)和3mol％ Cu2+掺杂ZnO(120℃,1...
关键词:
ZnO
,
纳米棒
,
气敏性能
范福庭
,
朱小华
,
沈晓成
高分子材料科学与工程
以2,2'-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(BAPP)、对苯二胺(PDA)和4,4’-联苯四甲酸二酐(BPDA)为原料,采用共聚法合成了聚酰胺酸(PAA)树脂；然后将PAA树脂涂布到电解铜箔表面上,在高纯氮气保护下进行热亚胺化处理,最后制备出一种表观平整、光滑的聚酰亚胺(PI)覆铜箔.研究了B...
关键词:
聚酰胺酸树脂
,
热亚胺化
,
氮气保护
,
聚酰亚胺覆铜箔
