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蒸发速率对ITO光学常数的影响

李天璘 , 朱彦旭 , 徐晨 , 高国 , 沈光地

功能材料

由于ITO具有复杂的微观结构和吸收机制,很难准确测量出它的光学常数.采用变入射角光度椭偏仪(VASE)建立了一套简单的拟合模型,成功拟合出ITO光学常数在可见光范围内随波长的变化关系.并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对ITO薄膜光学常数的影响.根据Hall效应测量了ITO在不同蒸发速率下的载流子浓度,分析了ITO光学常数随蒸发速率增加而增加的机理.

关键词: ITO , 椭偏仪 , 电子束蒸发法 , 蒸发速率