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常压等离子体渗氮主要工艺参数分析

严立 , 朱新河 , 徐久军 , 秦艳 , 杨毅 , 高玉周

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.04.014

利用介质阻挡放电,进行了常压非平衡等离子体渗氮,着重讨论了有关工艺参数的影响情况.正交试验结果表明,合理选择放电电压、放电间距和渗氮温度是获得良好渗氮层的关键.在本工艺条件下,适当减小放电间隙,增大电场强度,可以明显提高渗层的硬度和深度.

关键词: 介质阻挡放电 , 等离子体渗氮 , 常压等离子体

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