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溶胶-凝胶法制备Bi4Si3O12薄膜的工艺参数影响研究

郭正青 , 谢建军 , 朱晓邢 , 施鹰 , 雷芳

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺,在石英玻璃衬底上制备了Bi4Si3O12 (BSO)多晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、荧光光谱仪和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计表征了薄膜的物相结构、微观形貌及其光学性质,系统研...

关键词: Bi4Si3O12薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 形貌