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溶胶-凝胶法制备（Na0.85 K0.15）0.5 Bi0.5 TiO3铁电薄膜晶化行为研究

陈春天 , 朱汉飞 , 王东生

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.011

利用溶胶-凝胶法在(111)Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上成功制备了无铅(Na0.85 K0.15)0.5 Bi0.5 TiO3(NK-BT)铁电薄膜。利用XRD 和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的晶化行为和表面形貌进行了表征。结果表明，在一定温度范围内，随着热分解温度和退火温度的升高，薄膜的...

关键词: 溶胶-凝胶 , 热解温度 , 退火温度 , 晶化行为 , 微结构