陈春天
,
朱汉飞
,
王东生
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.011
利用溶胶-凝胶法在(111)Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上成功制备了无铅(Na0.85 K0.15)0.5 Bi0.5 TiO3(NK-BT)铁电薄膜。利用XRD 和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的晶化行为和表面形貌进行了表征。结果表明，在一定温度范围内，随着热分解温度和退火温度的升高，薄膜的晶化程度变得越来越完全，晶粒变得更加均匀致密。当热分解温度为450℃、退火温度为700℃时，薄膜表现出最优的晶化行为，其铁电性能良好，剩余极化强度(Pr)和矫顽场强(Ec)分别为10.37μC/cm2和78.2kV/cm。
关键词:
溶胶-凝胶
,
热解温度
,
退火温度
,
晶化行为
,
微结构
