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MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD 电极上对硝基酚的阳极氧化测试

魏俊俊 , 贺琦 , 高旭辉 , 吕反修 , 陈广超 , 朱秀萍 , 倪晋仁

人工晶体学报

采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜.四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×1012Ω*cm ,当反应气源中B/C上升为5×10-3时电阻率降至5×10-3 Ω*cm.扫描电镜显示掺硼金刚石具有完整晶型和致密结构.拉曼光谱观察到金刚石结构在掺杂前后发生明显...

关键词: Ti/BDD电极 , 微波等离子体 , 化学气相沉积 , 对-硝基酚 , 阳极氧化