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结构为Pt/SiNWs/n-Si/Al肖特基二极管的电子特性

朱美光 , 张健 , 王志亮 , 马殿飞

材料科学与工程学报

采用湿化学刻蚀法直接在n-Si衬底上制备了硅纳米线（Si NWs）,用无电镀法在制备好的硅纳米线上修饰Pt纳米粒子作为上电极以形成结构为Pt/Si NWs/n-Si/Al的肖特基二极管。研究了无电镀参数（如氯铂酸钾K2PtCl6浓度,无电镀时间）对结构为Pt/Si NWs/n-Si/Al的肖特基二极...

关键词: 硅纳米线 , 肖特基二极管 , 巴丁模型