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层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响

谈淑咏 , 吴湘君 , 张旭海 , 张炎 , 蒋建清 , 朱雪锋 , 江先彪

材料工程 doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.11.005

在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层.用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能.结果表明:调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小...

关键词: Cr/CrN多层涂层 , 层厚比 , 硬度 , 磨损率