刘家祥
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甘勇
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朴圣洁
稀有金属材料与工程
以锡盐和金属铟为原料采用胶体法制备ITO前驱物浆料,通过提拉法在镀有SiO2薄层的浮法玻璃基片上制备透明导电ITO薄膜.用TEM测定ITO前驱物浆料颗粒大小;用XRD、SEM、AES分别对ITO薄膜的结构和表面形貌进行表征;用分光光度计和四探针电阻仪检测ITO薄膜光电性能.结果表明:ITO前驱物浆料的颗粒粒径为2 nm～15 nm,具有较好的分散性和稳定性;ITO薄膜厚度越大,方电阻越小,平均透过率下降;ITO薄膜在波长为360 nm～800 nm区的透过率随膜厚增加有不同的影响;退火温度越高,膜方电阻越低;当膜厚为300 nm、退火温度600℃时,膜方电阻达到258Ω/□,其透过率在波长550 nm处达到89.6%,且薄膜表面平整.
关键词:
胶体法
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ITO
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薄膜
,
微结构
朴圣洁
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刘家祥
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曾胜男
稀有金属材料与工程
以金属铟和结晶四氯化锡为原料,加入各种添加剂制备了稳定的ITO前驱物浆料.利用Zeta电位、扫描电镜、沉降试验研究了分散剂PEG对浆料稳定性能的影响.结果表明,分散剂PEG与ITO前驱物氢氧化物胶粒表面建立了较强的氢键,通过空间位阻稳定作用提高了浆料的稳定性;PEG的加入可使浆料中固体颗粒分散均匀,颗粒粒度主要分布在50～100 nm之间;沉降试验和粘度的测定表明,浆料pH值在8.0,分散剂PEG用量在1.0%～2.0%(质量分数,下同),粘度在2.1～2.6mPa·s时,在沉降120 h后的浆料中,固体颗粒沉降体积百分比在10%以内,能够保证浆料的相对稳定.
关键词:
ITO前驱物浆料
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分散剂
,
粘度
,
性能
