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聚合物前驱体法合成铌酸锶钡铁电薄膜

张贺新 , 赵九蓬 , 强亮生 , 权茂华

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2004.02.006

采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(Srx Ba1-x Nb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH值对前驱体溶胶稳定性的影响.结...

关键词: 铌酸锶钡 , 铁电 , 薄膜 , 聚合物前驱体 , 柠檬酸

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