李世泽
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魏正英
,
杜军
,
唐一平
,
楚华丽
高分子材料科学与工程
为了提高纳米压印的成型质量,采用粗粒化分子动力学方法,研究纳米压印中抗蚀剂的变形行为.计算模型包括线宽结构的硅模具,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物薄膜以及硅基板.模型的x,y方向采用周期性边界条件,z方向采用非周期性边界条件.分析不同压印条件下,模具所需要的压印力及不同区域抗蚀剂密度的变化.结果表明,随着模具槽宽的增大,压印温度的上升,在下压过程中所需要的压印力逐渐减小;在脱模初始阶段,模具和抗蚀剂之间的相互作用力出现阶跃式的递减;下压阶段,抗蚀剂局部密度增加;脱模阶段,抗蚀剂出现回弹现象.
关键词:
纳米压印
,
粗粒化分子动力学
,
抗蚀剂变形行为
李世泽
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康海澜
,
郝永胜
,
方庆红
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.11.035
研究了滑石粉的用量对氟橡胶在热盐酸环境下的力学性能的影响。实验结果表明,在100℃,10％的盐酸溶液中浸泡24 h后,填充40 phr滑石粉的氟橡胶保持了较好的力学性能；在100℃,10％的盐酸溶液进行蠕变和应力松弛的测试1 h后,添加40 phr的氟橡胶蠕变的变化量最低,应力的松弛量最少；从红外光谱图中发现,氟橡胶主链上的C—H 在酸性环境下最终氧化成—COOH；其扫描电镜的形态研究表明,滑石粉40 phr为改性氟橡胶的最佳配比。
关键词:
氟橡胶
,
滑石粉
,
蠕变
,
应力松弛
,
耐酸性能
