郭瑞
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李东临
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王怡
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武光明
,
邢光建
材料导报
利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了MgxZn1-xO(x=0～0.2)薄膜.采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计和荧光光谱仪研究了Mg掺杂量对MgxZn1-xO薄膜结构与光学性能的影响.XRD图谱表明,MgxZn1-xO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且呈现出C轴择优生长特性,当x>0.1时...
关键词:
MgxZn1-xO薄膜
,
射频磁控溅射
,
透过率
,
光致发光谱
韩彬
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武光明
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邢光建
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王怡
,
江伟
,
李东临
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.072
以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.并采用X射线衍射,场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光...
关键词:
ZnO薄膜
,
超声喷雾热分解
,
N-In共掺杂
