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射频磁控溅射沉积高质量ZnO薄膜的工艺研究

李伙全 , 曾祥华 , 韩玖荣

功能材料

在室温下利用射频磁控溅射法在硅（100）基片上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对其结晶性能进行分析。研究了制备条件对薄膜沉积速率的影响。分析了薄膜沉积速率对薄膜结晶状况的影响及源气体中的氧气和氩气的流量比对薄膜结晶状况的影响。研究结果表明,薄膜的生长速率强烈依赖于射...

关键词: ZnO薄膜 , 工艺参数 , 择优取向