顾广瑞
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金逢锡
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李全军
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盖同祥
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李英爱
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赵永年
功能材料
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,红外光谱测试表明,所有样品为六角氮化硼(h-BN)结构.经过氢、氧等离子体处理之后,在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性.实验结果表明,经过氢等离子体处理后BN薄膜的场发射开启电场明显降低,发射电流明显升高;而氧等离子体...
关键词:
氮化硼薄膜
,
场发射
,
氢等离子体
,
氧等离子体
李全军
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吴汉华
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汪剑波
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顾广瑞
,
金曾孙
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.02.037
在Na2CO3-Na2SiO3电解液中,利用微弧氧化技术在纯钛试样表面制备了氧化膜,并研究了脉冲频率(500～8000Hz)对膜层生长、相组成及表面形貌的影响.结果表明:当脉冲频率＜2000Hz时,膜层的生长速率随频率增加迅速减小,当＞4000Hz时,其生长速率几乎和频率无关.微弧氧化膜主要由锐钛矿...
关键词:
微弧氧化
,
脉冲频率
,
表面形貌
,
相组成
顾广瑞
,
吴宝嘉
,
李全军
,
金哲
,
盖同祥
,
赵永年
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.02.010
利用射频磁控溅射方法,真空室中充入高纯N2(99.99 %)和高纯Ar(99.99 %)的混合气体,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1 380 cm-1和780 cm-1).在超高真空(<10-7 Pa)系统中测量了B...
关键词:
场发射
,
BN薄膜
,
氮气分压
