谢书银
,
袁鹏
,
万关良
,
李励本
,
张锦心
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.03.012
通过1200℃、1.5 h急冷热处理实验, 研究了硅中位错对高温塑性形变的影响及热处理过程中位错密度的变化. 实验结果表明, 硅中原有位错密度越大或热处理急冷温度越高, 均使塑性形变更加严重. 位错密度为0.4～2×103 cm-2的硅片的弯曲度变化是无位错硅片的3倍多, 1200℃急冷产生的形变量...
关键词:
硅片
,
塑性形变
,
位错
,
热处理
