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  • 论文(3)

喷砂表面的多尺度分析与表征

王春水 , 何声馨 , 张二亮 , 李大磊

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.06.024

目的:对喷砂表面的复杂轮廓特征进行分析和表征,以选取能表征最佳工艺参数的三维粗糙度参数。方法以喷砂工作距离为变量对AISI 304 L不锈钢试样进行喷砂处理,对喷砂处理后试样的表面形貌开展多尺度分析,选取5个评价尺度,每个评价尺度下采用12个常用的三维粗糙度参数进行表面形貌表征;分析各个粗糙度参数对...

关键词: 喷砂 , 三维粗糙度 , 多尺度分析 , 回归分析

硅片加工表面层损伤检测技术的试验研究

张银霞 , 李大磊 , 郜伟 , 康仁科

人工晶体学报

单晶硅片超精密加工表面层损伤较小,检测评价比较困难.为了确定合适的检测技术,对多种硬脆材料表面层质量检测技术进行了系统的试验研究.结果表明,硅片加工表面宏/ 微观形貌可采用各种显微镜及3D表面轮廓仪等进行检测,表面损伤分布可采用择优腐蚀法和分步蚀刻法检测;粗加工和半精加工硅片的损伤深度宜采用角度抛光...

关键词: 硅片 , 加工损伤 , 检测技术

表面状态对疲劳塑性变形局部化的影响

谢俊峰 , 何声馨 , 李大磊 , 李延民 , 张二亮

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.02.038

目的 研究不同的表面状态对WaspaloyTM镍基高温合金塑性变形局部化的影响,确定最优的评价塑性应变局部化的三维表面粗糙度参数.方法 对两组WaspaloyTM高温镍基合金先进行机械抛光至0.02μm,然后分别进行电解抛光和化学蚀刻,得到不同的两种表面状态.通过制作标准试样进行疲劳试验得到疲劳寿命...

关键词: WaspaloyTM高温镍基合金 , 表面粗糙度 , 滑移带 , 塑性应变局部化

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