李宪林
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黄柏标
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朱宝富
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于永芹
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尉吉勇
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秦晓燕
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.017
本文探索了以乙醇为氧源通过MOCVD方法生长ZnO薄膜的方法,着重研究了该实验中生长温度对薄膜发光光谱的影响.我们分别在350℃、370℃、380℃、400℃和420℃温度下生长了ZnO薄膜,并对其发光光谱进行了研究.结果表明适当地提高生长温度可以使近带边发光峰蓝移,但温度过高,使得峰位红移并展宽.在380℃的生长条件下得到了较好的光谱.370℃条件下还出现了474nm的发光峰,经退火后此峰消失.
关键词:
氧化锌
,
乙醇
,
MOCVD
,
温度
,
光谱
