李志栓
,
吴孙桃
,
李静
,
郭东辉
功能材料
采用射频磁控溅射的方法,在不同条件下制备了氧化钒薄膜样品,分别在不同温度条件下做了退火处理,并对退火前后样品做了X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和激光扫描共聚焦显微镜测试与分析,旨在得出制备良好的V2O5薄膜的条件.
关键词:
射频磁控溅射
,
氧化钒薄膜
,
XRD
,
XPS
,
激光扫描共焦显微镜
李静
,
李志栓
,
吴孙桃
功能材料
研究了用磁控溅射系统来制备氧化钒薄膜,通过优化工艺条件制备出可用作锂离子微电池阴极膜的非晶态五氧化二钒(α-V2O5)薄膜.并使用X射线衍射(XRD)与X射线光电子谱(XPS)来表征薄膜的晶向及化学组分.结果表明通过调节氧气以及氩气的流量、基片的温度和溅射功率,可以制备出高纯度的α-V2O5薄膜.而且,半电池体系V2O5/LiPF6/Li被构造用于表征在锂电池中作为阴极膜的五氧化二钒(α-V2O5)的电学性质.在此电池系统经过10个循环放电后,薄膜放电电容趋于稳定值.
关键词:
α-V2O5
,
阴极膜
,
射频磁控溅射
,
锂离子电池
