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脉冲激光沉积法制备Pt薄膜的研究

李理 , 朱俊 , 李扬权 , 经晶 , 周文 , 罗文博 , 李言荣

功能材料

采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜,研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构,表面形貌及电学性能的影响规律.X射线衍射(XRD)分析结果表明,在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的条件下,制备得到的Pt(111)单晶薄膜,其(111)...

关键词: 脉冲激光沉积(PLD) , Pt薄膜 , 电学性能 , 表面形貌 , 蓝宝石衬底