李新利
,
马战红
,
任凤章
,
许荣辉
,
柳勇
人工晶体学报
采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)方法制备了沉积时间系列的微晶硅薄膜.采用椭圆偏振光谱仪(SE)和原子力显微镜(AFM)表征薄膜表面粗糙度,分析了表面粗糙度随沉积时间的演化行为.讨论了这两种测量手段在分析薄膜表面粗糙度时的差异.结果表明,采用SE拟合得到的表面粗糙度数值要大于采用AFM直接测量得到的结果.产生差异的原因,一是由于两种测量手段的测量机制不同;二是由于薄膜的结构不均匀导致薄膜表面形貌差异.另外,还发现这两种测量手段得到的表面粗糙度数值之间存在线性关系.
关键词:
射频等离子体化学气相沉积
,
微晶硅薄膜
,
表面粗糙度
,
演化
王果
,
卢景霄
,
李新利
,
高海波
,
焦岳超
,
李瑞
功能材料
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)法制备了不同硼烷掺杂比例的微晶硅薄膜.随后在不同温度、不同气氛下,对沉积得到的P型微晶硅薄膜进行了退火处理.研究发现,对初始晶化率较高的薄膜,退火后其晶化率发生下降;初始晶化率较低的薄膜,退火后其晶化率则有所提高;并且,在高真空中退火更有利于薄膜的晶化.退火后,薄膜表面粗糙度的变化情况受其初始晶化率的影响;薄膜的暗电导率有大幅度的增加.其中,掺杂浓度较高的薄膜,在真空退火后其晶化率、表面粗糙度和电导都有显著的提高.
关键词:
p型微晶硅
,
退火
,
PECVD
,
晶化率
,
表面粗糙度
李新利
,
任凤章
,
马战红
,
李武会
,
王宇飞
,
卢景霄
材料热处理学报
采用SRS00光谱光度计对甚高频等离子体增强化学气相沉积本征微晶硅薄膜过程进行了在线监测,分析了硅烷不同注入方式对等离子体光发射谱和薄膜结构的影响.结果表明,采用硅烷梯度注入时,等离子体中的Hα*、Hβ*和SiH*峰强度逐步升高,且高的Hα*/SiH*比值有利于高晶化率界面层的沉积;这与采用XRD分析薄膜的结构得到的结果一致.选择硅烷梯度注入方式沉积微晶硅薄膜电池本征层,在沉积速率为1 nm/s本征层厚度为2400 nm时,最终获得了光电转换效率为7.81％的单结微晶硅薄膜太阳能电池.
关键词:
硅烷馈入方式
,
等离子体
,
光发射谱
,
微晶硅薄膜
,
太阳能电池
李新利
,
毛志平
电镀与涂饰
双层铬电镀工艺通常在底层施镀硬度较低、微孔较少的乳白铬以满足工件的防腐要求,再在表面施镀硬度较高、布满微裂纹的硬铬以满足耐磨性要求.本文结合双层铬电镀工艺的特点,论述了电镀自动生产线槽液及主要设备的日常维护方法,包括槽液组分和杂质控制,槽体、槽液保温系统、绝缘部位、工装挂具和整流器的维护等,并介绍了生产线配套的冲洗水和铬雾收集回用系统,以及含铬废水和酸碱废水处理系统的使用方法,可为双层铬电镀生产管理提供参考.
关键词:
镀铬
,
自动生产线
,
槽液
,
设备
,
维护
,
废水处理
唐聪明
,
李新利
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.09.030
利用ASPEN模拟软件中的Flash单元操作对萃取精馏过程中相对挥发度进行计算,以寻找萃取剂筛选的简便方法. 以醋酸水溶液为分离对象,在不同闪蒸模式和不同热力学模型下进行计算,所确定萃取溶剂环丁砜、N-甲基乙酰胺与实测结果基本一致;改变进料组成,可以确定萃取剂对全浓度范围内醋酸水溶液相对挥发度的改变情况. 最后利用该软件对萃取剂N,N-二甲基甲酰胺与醋酸的二元体系进行计算. 结果表明,二者形成了共沸物,与实验结果相吻合.
关键词:
Flash
,
萃取剂筛选
,
萃取精馏
,
醋酸
李新利
,
李丽华
,
马战红
,
黄金亮
,
任凤章
人工晶体学报
在室温下,采用超声辅助液相法快速合成了有机-无机杂化钙钛矿薄膜.碘化铅和甲基碘化氨的摩尔比为1∶1,通过超声振荡法溶于γ-丁内酯(GBL)溶液,得到黄色透明液体.采用荧光分光光度计对溶液的光发射谱进行表征,发现在495 nm和826 nm出现特征峰;采用滴涂法以及溶剂蒸发来制备有机-无机杂化钙钛矿薄膜,通过XRD和SEM对薄膜结构和形貌进行分析.结果表明,获得的钙钛矿薄膜是四方晶系,薄膜的晶粒呈现不规则的六边形且尺寸达到微米量级.
关键词:
液相法
,
有机-无机杂化钙钛矿薄膜
,
光发射谱
李新利
,
卢景霄
,
李瑞
功能材料
相对于单晶硅和非晶硅来说,微晶硅薄膜太阳电池具有更多的优势.高速沉积高效微晶硅太阳电池已经成为当前研究的热点.综合介绍了微晶硅p-i-n太阳电池的结构以及基本原理、研究现状和存在的问题,并对其发展前景进行了展望.
关键词:
太阳能电池
,
微晶硅
,
高速沉积
