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使用了一种在自组装单分子层(SAM)模板衬底上由电化学氧化-还原自发生长的方法, 择优取向生长氧化亚铜(Cu₂O)微晶. 通过扫描电子显微镜和微区XRD等方法对合成的Cu₂O晶体进行了形貌和结构表征. 结果表明: 合成的样品为立方结构的Cu₂

关键词: 氧化亚铜 , preferred orientation , electrochemical redox , self-assembled monolayers , gas sensor

高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应

蒋玉齐 , 程迎军 , 张鲲 , 李昕欣 , 罗乐

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.022

对双悬臂梁高量程 MEMS加速度传感器的封装结构进行了 1× 105g峰值的半正弦加速度冲击载荷下的有限元响应分析.灌封胶弹性模量的变化对加速度计的输出信号(输出电压、悬臂梁的挠度)的影响可以忽略.输出电压曲线的峰值与解析解接近.加速度计的悬臂梁表现为有阻尼下的受迫振动,并表现出悬臂梁的固有频...

关键词: 高量程加速度计 , 灌封 , 有限元分析 , MEMS

自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测

杨天天 , 许鹏程 , 左国民 , 李昕欣

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.11189

使用了一种在自组装单分子层(SAM)模板衬底上由电化学氧化-还原自发生长的方法,择优取向生长氧化亚铜(Cu2O)微晶.通过扫描电子显微镜和微区XRD等方法对合成的Cu2O晶体进行了形貌和结构表征.结果表明:合成的样品为立方结构的Cu2O晶体,且形貌、取向和颗粒尺寸得到了有效控制,此结果可归结为SAM...

关键词: 氧化亚铜 , 择优取向 , 电化学氧化还原 , 自组装单分子层 , 气体传感器

基于阴极新结构的高性能自呼吸式MEMS微型氢/空气燃料电池

郑丹 , 张熙贵 , 张鲲 , 杨辉 , 李昕欣 , 夏保佳

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2007.06.027

利用微机电系统(MEMS)技术,设计并制作了一种新型的氢/空气微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)双层、镂空式阴极流场板结构. 采用新的阴极结构,不仅减小了电池的体积和质量,还促进了气体在阴极的分布,导致电池的峰值比功率密度、体积比功率密度及质量比功率密度分别提高了35.8%、53.3%和76.5...

关键词: 微型质子交换膜燃料电池 , 阴极结构 , 自呼吸 , MEMS技术

集成悬臂梁/探针阵列在PMMA薄膜上微纳摩擦的尺寸和温度效应

刘斌 , 鲍海飞 , 李昕欣

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.015

在微纳米尺度下,摩擦行为受到针尖尺寸和温度两个重要参数的影响.本研究利用基于Si的微加工制造技术制作了三种不同尺寸并且具有加热功能的悬臂梁探针阵列,用来研究在聚合物 PMMA薄膜上摩擦的针尖尺寸效应和温度效应.在PMMA薄膜中存在着两种显著的结构转变过程,包括玻璃态转变(α)和结构驰豫过程(β),这...

关键词: MEMS集成探针阵列 , 微纳摩擦 , 尺寸效应 , 温度效应

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自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测

高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应

自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测

基于阴极新结构的高性能自呼吸式MEMS微型氢/空气燃料电池

集成悬臂梁/探针阵列在PMMA薄膜上微纳摩擦的尺寸和温度效应

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