祝要民
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李晓园
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宋晓平
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陈强
中国有色金属学报
采用不同的磁控溅射和回火工艺制备了SmCo磁性薄膜.用能谱仪对不同工艺溅射的样品进行了化学成分分析; 用透射电子显微镜和振动样品磁强计(VSM)研究了薄膜的显微结构和磁性能.结果表明: 溅射态的薄膜为非晶态并具有软磁特征; 当回火温度位于400~ 450℃之间时, 薄膜的微观组织均匀细小, 且随着回...
关键词:
SmCo薄膜
,
晶化
,
显微组织
,
磁性能
李晓园
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祝要民
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宋晓平
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陈强
金属功能材料
doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2003.01.005
磁性纳米颗粒由于晶粒尺寸处于纳米级,可以做到完全单畴,很多研究表明这种结构下其磁性能与同样相成分的块体材料相比,具有明显的不同.本文采用磁控溅射方法得到非晶SmFe薄膜,通过时效处理后,得到均匀分布在铜基体上的磁性纳米颗粒.研究表明,颗粒磁性能随着晶粒尺寸变化而发生明显的变化.
关键词:
磁控溅射
,
磁性能
,
纳米颗粒
,
磁性薄膜
祝要民
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李晓园
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宋晓平
,
陈强
稀有金属材料与工程
用轮番溅射工艺在多靶磁控溅射设备上制备了SmCo薄膜.通过改变Sm,Co纯金属靶的溅射时间间隔和溅射功率来调整薄膜的化学成分和均匀性.实验表明,可以通过调整溅射电流来优化薄膜的化学成分.沿垂直膜面俄歇电子(AES)逐层分析证明,优化溅射工艺制备的薄膜化学成分分布均匀.电子衍射表明薄膜溅射态为非晶结构...
关键词:
磁性薄膜
,
磁控溅射
,
化学成分
,
磁性能