刘耀
,
陈曦
,
张小祥
,
刘晓伟
,
李梁梁
,
丁向前
,
郭总杰
,
袁剑峰
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0784
最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析，并配合扫描电子显微镜(SEM)图片，确定最终关键尺寸合适的测试条件和方法。基于上述分析，选取测量值稳定的光照强度区间中心点的光照强度作为标准样品参照值，选取此时样品测试图片作为标准图片。测试结果与 SEM 结果进行对比，得到不同膜层测量值和真实值之间的补偿值。并通过不同尺寸产品的数据收集和分析来验证补偿值的可靠性。通过上述方法，可以极大地缩短最终关键尺寸测量的校正周期，并为今后新产品开发提供可靠的测试标准。
关键词:
最终关键尺寸
,
测试方法
,
扫描电子显微镜
,
补偿值
胡晓宇
,
费鹏飞
,
宋俊
,
程博闻
,
廖亮
,
孟建强
,
陈英波
,
李梁梁
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.23.004
随着膜法水处理技术的迅猛发展，对渗透功能膜制备及应用技术的要求日益提高。与常规渗透膜制备所采用的主流膜材料聚酰胺相比，醋酸纤维素(CA)及其衍生物由于兼具无可比拟的资源优势和独特的耐氧化性等优势而备受关注。围绕醋酸纤维素类渗透膜在纳滤、反渗透和正渗透等领域的应用，简要介绍了该类膜材料的制备方法和改性方法，回顾了其在海水淡化、油水分离、重金属脱除、手性分离等领域的应用进展，并在分析醋酸纤维素类渗透膜产品在应用领域的技术和性能优势的基础上，指出了醋酸纤维素类渗透膜进一步发展需要重点关注的研究方向。
关键词:
海水淡化
,
渗透膜
,
醋酸纤维素
,
制备方法
夏琦兴
,
姚忠平
,
张亚军
,
李梁梁
,
姜兆华
材料保护
为了提高镁合金的耐蚀性,采用氢氧化钠-六偏磷酸钠-醋酸钙电解液,利用微弧氧化技术在AZ91D镁合金表面原位生长含有钙、磷的陶瓷膜,研究了醋酸钙浓度对陶瓷膜的厚度、表面粗糙度、形貌、成分、相组成及其在模拟体液中耐蚀性的影响.结果表明:陶瓷膜主要为MgO相,且含有Ca和P;膜层表面具有多孔结构;增加电解液中醋酸钙浓度,膜层变厚,粗糙度先增大后减小,Ca含量增多;陶瓷膜使镁合金的耐蚀性提高;电解液加入醋酸钙后,制得的膜层耐蚀性下降,含0.4g/L醋酸钙的电解液制得的膜层的耐蚀性在含Ca膜层中最好.
关键词:
微弧氧化
,
陶瓷膜
,
AZ91D镁合金
,
耐腐蚀性能
,
醋酸钙
刘晓伟
,
郭会斌
,
李梁梁
,
郭总杰
,
郝昭慧
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142904.0548
纯铝薄膜被广泛用作TFT LCD的金属电极,但纯铝薄膜在热工艺中容易产生小丘,对TFT的阵列工艺的良率有较大影响.本文用磁控溅射的方法在不同温度下沉积纯铝薄膜作为薄膜晶体管的栅极,并通过电学检测、扫描电子显微镜和应力测试等方法对不同温度下沉积的纯铝薄膜的小丘生长情况进行了研究.实验结果表明:纯铝成膜温度提高,薄膜的晶粒尺寸增大,退火后产生小丘的密度和尺寸明显降低,温度应力曲线中屈服点温度也相应提高.量产中适当提高成膜温度,可以有效抑制小丘的发生,提高TFT阵列工艺的量产良率.
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
磁控溅射
,
纯铝薄膜
,
小丘
,
量产良率
