常新龙
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李正亮
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胡宽
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孙涛
复合材料学报
采用试验与理论相结合的方法,研究了玻璃纤维/环氧树脂复合材料的吸湿老化剩余强度,测试了基体的吸湿性能,对老化前后基体、纤维及其复合材料的拉伸性能进行了试验研究.根据纤维和基体性能测试数据,应用桥联模型计算了复合材料的吸湿老化剩余强度,计算结果与试验结果一致.结果显示:在小吸湿率条件下,利用桥联模型能够准确预测复合材料的破坏演化规律及其最大剩余强度.当主承力层破坏由纤维控制时,由湿老化引起的纤维强度的下降直接导致复合材料最大拉伸强度的下降;当破坏由基体控制时,影响复合材料吸湿剩余强度的主要因素是基体硬化及强度的下降.较小吸湿率对纤维与基体的界面粘结强度影响有限,界面破坏不是层合板破坏的主要因素.
关键词:
复合材料
,
吸湿
,
桥联模型
,
剩余强度
高锦成
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李正亮
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曹占锋
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姚琪
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关峰
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惠官宝
硅酸盐通报
为优化金属氧化物薄膜晶体管（ IGZO-TFT）的特性，采用射频磁控溅射法沉积IGZO薄膜作为半导体活性层，制备出具有刻蚀阻挡层（ Etch stop layer ，ESL）结构的IGZO TFT，在2．5 G试验线上研究了IGZO沉积过程中O2浓度、IGZO沉积后N2 O等离子体处理、ESL的制备温度和ESL沉积过程中N2 O／SiH4的比例等关键工艺条件对IGZO TFT的阈值电压（ Vth ）的影响。实验结果表明：IGZO沉积过程中O2浓度的增加、IGZO沉积后N2 O等离子体处理和ESL制备温度的降低会导致IGZO TFT的Vth正偏移。
关键词:
铟镓锌氧化物薄膜晶体管
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刻蚀阻挡层
,
N2 O等离子体
,
阈值电压
