李河清
,
倪代秦
,
吴星
,
胡伯清
,
朱丽娜
,
陈小龙
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.010
研究了PVT法生长SiC过程中的传热行为,以优化生长条件、获得高质量单晶.该研究是针对坩埚盖(籽晶粘附于坩埚盖上)和炉盖之间的传热行为进行的.研究认为,坩埚盖上部石墨毡开孔形状和大小对坩埚盖的径向温度场有很大影响.采用本文简化的模型可以估算坩埚在不同位置下、不同的石墨毡开孔形状和大小时坩埚盖和炉盖之间总的辐射热阻和传热量.对影响坩埚盖和炉盖之间传热的因素进行了讨论.另外,讨论了在生长过程中动态调整坩埚盖散热条件的可行性.
关键词:
晶体生长
,
SiC
,
传热
李河清
,
蔡珣
,
马峰
,
陈秋龙
中国有色金属学报
薄膜硬度测试是薄膜力学性能表征的一个重要方面. 针对硬膜软基底系统, 引入界面约束的概念, 以球形空洞扩张理论为基础, 并假设薄膜和基底分别发生柱面和径向变形, 建立了一个新的薄膜本征硬度和复合硬度关系模型, 并对其正确性进行了验证. 应用该模型, 可从薄膜复合硬度中分离出本征硬度. 新模型与Burnett-Rickerby模型相比, 建立了新的界面约束因子表达式, 该界面约束因子包含泊松比的影响, 并且其值并不依据经验判断来确定, 而由膜基弹塑性性能来确定.
关键词:
薄膜
,
本征硬度
,
复合硬度
李河清
,
马峰
,
陈秋龙
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2001.09.022
薄膜(涂层)同基体材料的力学性能有很大差异,同时,由于其厚度薄,且其与界面和基体材料间的交互作用影响其力学性能测试中应力、应变的分布与传递,常规的拉伸、冲击等方法对其不再适用.列举了薄膜(涂层)硬度测试中的一些问题,着重讨论了基底和膜基界面、压头形状、隆起和凹陷现象、初始零位确定、弹性恢复以及表面粗糙度对薄膜(涂层)硬度测试的影响,并提出了相应改进措施.结果表明,只有综合考虑各个影响因素,才能获得薄膜(深层)的本征硬度.
关键词:
薄膜
,
涂层
,
硬度
