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Ti离子注入对石英玻璃表面金属化的影响

崔新强 , 李海兵 , 李国卿 , 蒋宝财

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.01.014

为提高石英玻璃表面金属化膜层与基底的结合强度,利用金属蒸发真空弧(MEVVA)离子源引出的Ti离子对石英玻璃及镀Ti膜石英玻璃进行离子注入,剂量选择3×10~(16),5×10~(16) ion/cm~2,模拟分析了注入离子能量的分布,采用卢瑟福背散射分析了注入Ti离子在基体中的深度分布,利用划痕实...

关键词: Ti离子 , 离子注入 , 镀Ti膜石英玻璃 , 结合强度

太阳能高反射薄膜制备技术对薄膜性能的影响

李海兵 , 徐勇军 , 蔡其文 , 涂伟萍 , 廖俊旭

中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.005

采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)与磁控溅射(MS)两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表征薄膜的反射率、表面形貌、粗糙度、附着力、耐摩擦...

关键词: 光学薄膜 , 物理气相沉积 , 磁过滤阴极真空弧沉积 , 磁控溅射 , 高反射膜

石英玻璃金属化的蒙特卡洛模拟

崔新强 , 陈佳 , 李海兵

表面技术

目的：通过 SRIM 程序模拟,对石英玻璃金属化工艺进行优化。方法对不同情况界面进行对比分析,配合 SRIM 程序模拟,得出理想的金属化界面,提出通过增加阻挡层的方法来得到这种界面。分析 SRIM 程序模拟结果,选取阻挡层分别为5,10,15,20 nm 四种厚度,模拟能量20 keV 的 Ti 离...

关键词: 蒙特卡洛 , 金属化 , 离子注入

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