邵起越
,
袁涛
,
李爱东
,
董岩
,
方峰
,
蒋建清
,
刘治国
功能材料
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪.以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜.这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相...
关键词:
无水硝酸盐
,
化学气相沉积(CVD)
,
高介电常数(high-k)栅介质
王东生
,
于涛
,
胡安
,
吴迪
,
李爱东
,
刘治国
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00737
用金属有机物分解法分别制备了SrBi2Ta2O2(SBT)薄膜和粉末样品.XRD和SEM结果显示SBT粉末经历氮氢混合气氛400℃退火处理后发生了还原反应,金属Bj和δ-Bi2O3析出,成针状结构聚集在表面,晶体结构没有被破坏.SBT薄膜在500%退火处理时,表面出现Bi的球形及针状结构聚集体,相对...
关键词:
SBT铁电薄膜
,
氮氢混合气氛
,
还原
,
退化
