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基底温度对ZnO/Cu/ZnO透明导电膜性能的影响

李爱丽 , 闫金良 , 石亮 , 刘建军

人工晶体学报

采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Cu靶的方法在不同基底温度下制备了ZnO/Cu/ZnO多层膜.用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度计和四探针测试仪对样品的性能进行了表征.结果表明,随着基底温度的升高,ZnO层c轴择优取向明显,结晶程度变好,Cu层的结晶性先变好后逐渐变差;多层膜表...

关键词: 透明导电膜 , 多层膜 , 光学性质 , 电学性质