冯团辉
,
卢景霄
,
张宇翔
,
郜小勇
,
杨仕娥
,
李瑞
,
靳锐敏
,
王海燕
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.034
为了制备优质的多晶硅薄膜,该论文研究了非晶硅薄膜的快速热退火(RTA)技术.先利用PECVD设备沉积非晶硅薄膜,然后把其放入快速热退火炉中进行退火.退火前后的薄膜利用X射线衍射(XRD)仪、Raman光谱仪及扫描电子显微镜(SEM)测试其晶体结构及表面形貌,利用电导率测试设备测试其暗电导率.研究表明退火温度、退火时间以及沉积时的衬底温度对非晶硅薄膜的晶化都有很大的影响.
关键词:
快速热退火
,
非晶硅薄膜
,
多晶硅薄膜
,
晶粒尺寸
,
暗电导率
张宇翔
,
王海燕
,
陈永生
,
杨仕娥
,
郜小勇
,
卢景霄
,
冯团辉
,
李瑞
,
郭敏
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.031
用等离子体增强型化学气相沉积先得到非晶硅(a-Si:H)薄膜,再用卤钨灯照射的方法对其进行快速光热退火(RPTA),得到了多晶硅薄膜.然后,进行XRD衍射谱、暗电导率和拉曼光谱等的测量.结果发现,a-Si:H薄膜在RPTA退火中,退火温度在750℃以上,晶化时间需要2min,退火温度在650℃以下,晶化时间则需要2.5h;晶化后,晶粒的优先取向是(111)晶向;退火温度850℃时,得到的晶粒最大,暗电导率也最大;退火温度越高,晶化程度越好;退火时间越长,晶粒尺寸越大;光子激励在RPTA退火中起着重要作用.
关键词:
多晶硅薄膜
,
快速光热退火
,
固相晶化
张丽伟
,
卢景霄
,
李瑞
,
冯团辉
,
靳锐敏
,
张宇翔
,
李维强
,
王红娟
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.037
本文先从理论角度说明了薄膜结构性能变化中存在"温度临界点",然后借助于XRD、Raman等测试仪器研究分析了Si薄膜、AZO薄膜在晶化过程、晶粒长大过程以及性能突变中的"温度临界点".结果显示:薄膜结构性能变化中确实存在"温度临界点";在"温度临界点"前后薄膜结构性能的变化规律曲线出现拐点.进而推论:薄膜的结构性能在随温度变化中"温度临界点"可能不止一个.
关键词:
温度临界点
,
薄膜结构
,
X射线衍射
,
拉曼光谱
张剑飞
,
李斌
,
黄文江
,
雷勇刚
,
楚攀
,
李瑞
,
何雅玲
,
陶文铨
工程热物理学报
对螺旋折流板换热器的流动及换热特性进行了试验研究与分析.结果表明,当保持螺旋周期为定值时,在相同流量下和相同壳径下,螺旋折流板换热器的壳侧压降随螺旋角增大而减小,且远低于弓形折流板的管壳式换热器;壳径减 小时,压降增加明显.相同Re下,螺旋折流板换热器的壳侧换热系数低于弓形折流板,在螺旋角为40°时达到最大值.相同流量下,螺旋折流板管壳式换热器单位压降和单位泵功下的换热系数均高于弓形折流板管壳式换热器.
关键词:
螺旋折流板
,
压降
,
换热系数
,
传热强化
周旬
,
艾矫健
,
王晓东
,
徐海卫
,
李瑞
,
夏银锋
,
王建功
,
杨孝鹤
,
孙超凡
钢铁钒钛
doi:10.7513/j.issn.1004-7638.2016.05.028
重点分析镀锡产品边部线状缺陷的生长机制和缺陷遗传规律.在大量现场试样分析的基础上,探讨轧制过程工艺对细线缺陷产生的影响.采用SEM,EDS等方式分析缺陷的形貌,成分及组织.结果表明,边部线状缺陷主要由炼钢的夹杂物、热轧带钢边部翘皮、氧化铁皮以及冷轧热轧工序边部擦划伤缺陷遗传所致.通过热轧辊形优化可以有效控制边部翘皮缺陷;通过系列工艺控制,可以有效避免夹杂物、擦划伤及氧化铁皮缺陷.镀锡产品边部线状缺陷率降低70％以上,产品质量得到有效改善.
关键词:
镀锡板
,
线状缺陷
,
边部翘皮
,
氧化铁皮
,
擦划伤
,
辊形优化
陈永生
,
杨仕娥
,
卢景霄
,
郜小勇
,
张宇翔
,
王海燕
,
李瑞
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.039
本文系统研究了PECVD法沉积μc-Si薄膜中衬低温度、氢气稀释率和射频功率等参数对μc-Si薄膜结构特性的影响.表明:随着衬低温度的增加、氢气稀释率的增大、射频功率的提高,薄膜的晶化率增大.沉积薄膜的晶化率最大可达80%,表面粗糙度大约为30nm.通过对反应过程中的能量变化进行了分析,得到反应为放热反应,且非晶结构对沉积参数比较敏感.
关键词:
微晶硅薄膜
,
晶化率
,
等离子体增强化学气相沉积
樊志琴
,
张君德
,
李瑞
,
蔡根旺
,
黄浩
,
王建星
,
康广生
人工晶体学报
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在附着有催化剂的石墨片衬底上原位沉积了碳纳米管膜电极.通过正交设计方法综合研究了反应温度、镍膜厚度、沉积时间、甲烷流量对碳纳米管膜电化学性能的影响.结果表明:不同条件下制备的碳纳米管膜的电化学性能有很大差异,其中起主要作用是甲烷流量和反应温度.保持工作压强(6.5×103 Pa)和氢气的流量(100 sccm)不变,温度为700~800 ℃时,甲烷流量为5 sccm,Ni膜厚度为150 nm,生长时间为5 min,所得碳纳米管膜电极电化学性能最佳,氧化峰电流最大,达到14 nA.
关键词:
正交设计
,
碳纳米管
,
MPCVD
,
电化学性能
吕士武
,
鲁端峰
,
袁竹林
,
李瑞
,
务文涛
,
李斌
,
常纪恒
工程热物理学报
本文基于对气相场的分析以及颗粒运动轨迹的计算,结合AutoCAD中的Lisp程序以及前处理软件Gambit,建立三维纤维集合体过滤介质模型来研究纤维介质对气溶胶颗粒的捕集效率.利用计算流体力学(CFD)对纤维间气-固两相流动特性进行数值模拟研究,用欧拉法处理气相场的同时用拉格朗日方法处理离散颗粒场,探究不同线密度(ρ)、不同孔隙率(ε)下纤维集合体对PM2.5的捕集特性.结果表明:对于同一种丝束,纤维集合体的捕集效率随着孔隙率的增加而减小.在相同的孔隙率下,纤维集合体的捕集效率随着纤维线密度的增大而减少.
关键词:
纤维集合体
,
捕集效率
,
PM2.5
,
空隙率
樊志琴
,
蔡根旺
,
李瑞
,
黄浩
,
张君德
,
王建星
,
康广生
功能材料
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在不锈钢衬底上直接沉积碳纳米管膜.通过正交设计方法综合研究了反应温度、气压、沉积时间、甲烷流量对碳纳米管膜场发射性能的影响.结果表明,不同条件下制备的碳纳米管膜的场发射性能有很大差异,其中起主要作用的是反应温度和气压.保持氢气的流量(100mL/min)不变,温度为700～800℃时,反应室压强为6.5kPa时,场发射性能最好,开启场强仅为0.8V/μm,发射点分布密集、均匀.
关键词:
正交设计方法
,
碳纳米管
,
MPCVD
,
场发射
,
拉曼光谱
高冰
,
朱自强
,
李瑞
,
王军
,
谯志强
,
杨光成
,
聂福德
材料导报
综述了近年来微纳米单质炸药的研究现状和进展.以黑索今(RDX)、奥克托今(HMX)、六硝基六氮杂异伍兹烷(CL-20)、三氨基三硝基苯(TATB)、1,1-二氨基-2,2-二硝基乙烯(FOX-7)、六硝基芪(HNS)、3-硝基-1,2,4-三唑-5-酮(NTO) 单质炸药为主线,介绍了微纳米单质炸药的制备方法、形成机理和性能研究.探讨了制备微纳米单质炸药的关键问题,最后从理论和实践角度对微纳米单质炸药的研究重点和发展趋势进行了展望.
关键词:
含能材料
,
单质炸药
,
微纳米
,
性能
