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脉冲激光沉积掺W类金刚石膜的性能

王雪敏 , 吴卫东 , 李盛印 , 陈松林 , 唐永建 , 白黎 , 王海平

稀有金属材料与工程

采用氟化氪(KrF)脉冲准分子激光烧蚀沉积(PLD)技术,在硅基体表面制备不同掺W时间的类金刚石薄膜(W-DLC).利用AFM、XRD、Raman、纳米压痕等手段分析和研究薄膜的表面形貌、结构以及部分性能.结果表明:W掺入后形成了α-W2C和WC相,并且没有明显改变薄膜中sp2和sp3键的含量,薄膜...

关键词: 脉冲激光气相沉积 , 类金刚石薄膜 , 硬度