吴艳霞
,
李红轩
,
吉利
,
冶银平
,
孙晓军
,
陈建敏
,
周惠娣
功能材料
采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢及Sip（111）基体上制备了含氢无定形碳（a-C∶H）薄膜,沉积的薄膜表面光滑,硬度高,内应力小,膜/基结合力好。利用球-盘摩擦实验机对薄膜在不同真空度（1.0×105、5.0×10-2、1.0×10-2、5.0×10-3 Pa）下的摩擦学行为进行了研究,结果表明,随...
关键词:
磁控溅射
,
a-C∶H膜
,
真空度
,
摩擦学性能
邱孟柯
,
黄晓鹏
,
回振龙
,
李红轩
,
吴劲锋
材料科学与工程学报
在橡胶轮磨料磨损实验机上考察了40Cr钢基体上离子氮化与离子镀TiN复合涂层在苜蓿草粉软磨料下的摩擦学特性.采用划痕法测定了涂层的结合力,利用XRD分析了涂层的相结构,应用扫描电子显微镜观察分析了涂层磨损表面形貌和磨损机理.结果表明:离子氮化与离子镀TiN复合涂层的膜基结合力和硬度均高于TiN涂层；...
关键词:
TiN
,
复合涂层
,
过渡层
,
软磨料摩擦磨损特性
吴劲峰
,
何乃如
,
邱孟柯
,
吉利
,
李红轩
,
黄小鹏
功能材料
采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查.结果表明,随着N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉积速率降低,Al/...
关键词:
磁控溅射
,
TiAlN薄膜
,
N2流量
,
微观结构
,
硬度
王永霞
,
冶银平
,
李红轩
,
吉利
,
陈建敏
,
周惠娣
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00209
为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响, 将a-C:H膜在大气环境中进行高温退火处理,并借助红外光谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱、3D表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C:H膜的结构、组成和性能进行了系统地考察. 研究发现, 在较低的退火温度下(300℃), a-C...
关键词:
a-CH膜
,
annealing temperature
,
structure
,
tribologicalproperty
李振军
,
徐洮
,
李红轩
,
郝俊英
,
周惠娣
,
陈建敏
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.05.040
类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜(DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法.本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学气相沉积制备类金刚石薄膜的摩擦学特性的影响,概述了其摩擦磨损机理,同时探讨了进一...
关键词:
类金刚石薄膜
,
摩擦学特性
,
磨损机制
,
化学气相沉积
李红轩
,
徐洮
,
陈建敏
,
周惠娣
,
刘惠文
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.06.006
利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱、红外光谱、表面轮廓仪和纳米压痕仪考察了直流负偏压对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、沉积速率和硬度等性能的影响.结果表明:无直流负偏压条件下,薄膜呈现有机类聚合结构,具有较低...
关键词:
直流负偏压
,
类金刚石薄膜
,
结构
,
性能
杜雯
,
冶银平
,
李红轩
,
崔海霞
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.066
用磁控溅射技术在普通载玻片上制备了不同厚度透明的锐钛矿相二氧化钛(TiO2)纳米薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等分析方法对试样进行表征,并测试了其紫外-可见透射光谱,计算了此薄膜的禁带宽度,其值接近TiO2禁带宽度的理论值3.2eV.
关键词:
磁控溅射
,
TiO2纳米薄膜
,
紫外-可见光谱
,
禁带宽度
孔庆花
,
吉利
,
李红轩
,
刘晓红
,
陈建敏
,
周惠娣
功能材料
采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢以及单晶硅基体上制备了CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、能量色散X射线能谱仪(EDS)和纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明,随着溅射电流的增大,薄膜中N/Cr比值减小,相组成由CrN(200)向Cr2N(111)转变...
关键词:
氮化铬薄膜
,
磁控溅射
,
溅射电流
,
微结构
,
硬度
