库黎明
,
李耀东
,
周旗钢
,
王敬
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.02.002
利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中不同压力下300mm硅片表面形貌的变化,并通过Stribeck曲线进行了探讨.结果表明,双面抛光过程中机械作用的强度随着压力的变化而不同,从而影响抛光后的硅片表面形貌.当硅片表面与抛光垫之间的接触处于固-液混合接触区时,协调机械去除作用与化学腐蚀作用之间的关系,使之达到平衡,可以显著地降低硅片表面的微粗糙度和峰谷值.
关键词:
硅片
,
双面抛光
,
非接触式光学轮廓仪
,
表面形貌
李耀东
,
赵越超
,
高红
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.03.009
为了提高1Cr18Ni9钢基体的耐蚀性和耐磨性,扩大其在工业中的应用范围,采用料浆法在不锈钢基体上制备具有保护性的SiO2基陶瓷涂层.并对涂层进行相结构及显微组织分析,结果表明:涂层与基体结合良好,且涂层中有新相生成.腐蚀试验和磨损试验证明,采用本工艺在1Cr18Ni9钢表面涂覆陶瓷层能大幅度提高基体的耐蚀性和耐磨性,对生产实践有一定的指导意义.
关键词:
料浆法
,
陶瓷涂层
,
相结构
,
显微组织
,
耐蚀性
,
耐磨性
