罗巍
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周雪珍
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李艳花
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项神佑
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李永绣
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2011.03.003
以SnCl2·2H2O和Ce2(CO3)3·8H2O为原料,氨水为沉淀剂,采用湿固相机械化学法制备了不同比例的锡铈复合氧化物.研究了煅烧温度和反应物配比对最终产物相组成和粒度大小的影响,并分别评价了用于K9、ZF7玻璃的抛光性能.结果表明,复合氧化物的主晶相为立方萤石型氧化铈,次晶相为二氧化锡.随煅烧温度从800℃升高到1000℃,合成产物的结晶度提高,但抛光速率并不随之提高.具有抛光增强效果的复合氧化物是在800℃煅烧温度下合成的锡复配量超过50%的复合氧化物.达到最好抛光效果所需的Sn:Ce的量之比与抛光玻璃有关,ZF7玻璃为5:5,K9玻璃为6:4.
关键词:
锡铈复合氧化物
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化学机械抛光
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光学玻璃
金靇
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孙戊辰
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焦晓燕
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李艳花
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罗巍
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李永绣
中国稀土学报
将水合碳酸铈与硝酸铝和氨水共同进行机械球磨,使新形成的无定型氢氧化铝包覆在细小的碳酸铈颗粒表面,经脱水干燥和煅烧,以制备出表面掺杂有氧化铝的氧化铈.结果表明:球磨中间产物仍然以水合碳酸铈为主,氢氧化铝的形成阻碍了碳酸铈的无定型化和向氢氧化铈的转化过程.在氧化铝掺杂量不超过10%的条件下,煅烧产物均具有立方萤石型结构.所有掺杂铝的氧化铈粉体对ZF7和K9光学玻璃的抛光速率均比纯氧化铈的有很大提高,证明铝的掺杂能够大大提高氧化铈的抛光性能.其最佳掺杂量为0.6%,煅烧条件为在1000℃下煅烧2 h.此时的MRR值为纯氧化铈的两倍以上.
关键词:
二氧化铈
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铝掺杂
,
抛光
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机械化学合成
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稀土
李艳花
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傅毛生
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危亮华
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周雪珍
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周新木
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李永绣
中国稀土学报
以硝酸铈为原料,十二烷基苯磺酸钠为分散剂,过氧化氢为氧化剂,氨水为沉淀剂,采用直接沉淀法制备了粒径分布均匀的纳米氧化铈粉体,并通过XRD,TEM等手段对粉体进行了表征.采用所制备的氧化铈粉体配置成抛光浆料对硅片进行抛光,研究了浆料pH值、固含量及过氧化氢浓度对n型半导体硅晶片(111)晶面抛光性能的影响.确定了最佳的抛光条件为:pH值10.5,含固量为0.5%,过氧化氢体积分数为1.5%.此时的抛光速率为61.1 nm·min-1,所抛光的硅晶片的表面粗糙度为0.148nm.
关键词:
纳米CeO2粉体
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化学机械抛光
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材料去除速率
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硅晶片
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稀土
