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脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展

高国棉 , 陈长乐 , 陈钊 , 李谭 , 王永仓 , 金克新 , 赵省贵

材料导报

介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势.大量研究表明,PLD技术是目前制备薄膜的最好方法之一.

关键词: PLD , 等离子体 , 薄膜沉积